People

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Yonsei University.

산학협력중점교수
박영근
Education
  • 1989 ~ 1993

    부경대학교 물리학과 학사

  • 1995 ~ 1998

    부경대학교 물리학과 석사

  • 2000 ~ 2003

    오사카대학교 화학과 박사

Career
  • 1996 ~ 1998

    부경대학교 물리 조교 (일반물리, 역학, 광학, 전기회로, 전자기학 실험)

  • 2003 ~ 현재

    삼성전자 반도체연구소 (Flash Memory Cell, DRAM Capacitor향 high-k 및 전극 신물질/공정 개발)

  • 2023 ~ 현재

    연세대학교 신소재공학과 (산학협력중점교수)

Research Interests
- 신물질 High-k, 전극, 계면막 연구 및 신공정/설비 개발
- DRAM Capacitor향 tetra-ZRO2, 계면막/Flash Memory향 α–Al2O3 세계 최초 개발 적용
- DRAM Capacitor 및 Flash Memory Cell향 신물질/신공정 Mass Production 이전 개발
- 양산향 반도체 설비개발 및 관리 ALD, CVD, RTP, ISSG, Plasma Treatment
- [강의] 반도체제품공학특론/메모리반도체 및 개발방법론
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