People

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Yonsei University.

하용호 교수
하용호
Education
  • 1990 ~ 1995

    KAIST 화학과 학사

  • 1995 ~ 1997

    KAIST 화학과 석사

  • 1997 ~ 2001

    KAIST 화학과 박사

Career
  • 1995 ~ 2001

    한국 표준 과학 연구원 표면 분석실 (연구생, MEIS)

  • 2001 ~ 2023

    삼성전자 반도체 연구소 ( PRAM, ReRAM, Logic RMG/HKMG, DRAM/VNAND Metal/CVD, Ferro Electric Material)

  • 2023 ~ 현재

    연세대학교 신소재공학과 (산학협력중점교수)

Research Interests
- PRAM/ReRAM 물질 및 제품 개발
- Logic HKMG 및 RMG module 기술 & 불량 분석
- Thin film (PVD, CVD, ALD) process
- Metal, High k, Ferro-electric Material 개발
- 표면 분석 기술
- [강의] 반도체제품공학특론
LIST