People

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Yonsei University.

고차원 교수
고차원
Education
  • 1989 ~ 1992

    포항공과대학교 화학과 학사

  • 1993 ~ 1994

    포항공과대학교 화학과 석사

Career
  • 1995 ~ 2002

    SK하이닉스 메모리연구소 (선행공정개발팀 PHOTO)

  • 2004 ~ 2023

    삼성전자 반도체연구소 (공정개발팀 PHOTO, SEMATECH(미국), EUV-TF, 소재개발팀 패터닝소재)

  • 2023 ~ 현재

    연세대학교 신소재공학과 (산학협력중점교수)

Research Interests
- EUV PR/MOR(Wet/Dry)/UL/Top-coat/Rinse/Developer 소재 개발
- EUV Spinner 설비 개발, POU Filter 개발
- Vapor Phase Infilteration, DSA, Nano-imprint 개발
- Molecular ALD Patterning, Selective Area Deposition Patterning 개발
- 창의적 문제해결기법(TRIZ), 반도체 공정/소재 미국등록특허 53건
LIST